| Приборы |
№ |
Назначение и область применения |
Elan 6100,
Elan DRCPlus
AAnalyst 600-800 |
1 |
Анализ содержания примесей в растворителях |
| 2 |
Измерение концентрации примесных элементов в кварце |
| 3 |
Определение примесей в монокристаллах полупроводников и в шихте, используемой для их получения |
| 4 |
Контроль чистоты поверхности кремниевых пластин |
| 5 |
Мониторинг процессов CVD, травления, ионной имплантации |
| 6 |
Контроль чистоты технологического обрудования, помещений, контейнеров для хранения полупроводниковых устройств |
Spectrum RX I
Spectrum BX II
Spectrum One
Spectrum GX |
1 |
Определение содержание примесей в SiCl4 и GeCl4 |
| 2 |
Контроль количества кислорода и углерода в кремниевых пластинах |
| 3 |
Определение содержания элементов (III)-(V) групп в кремниевых пластинах |
| 4 |
Измерение толщины эпитаксиальных слоев (EPI layers) |
| 5 |
Измерение толщины борофосфосиликатных покрытий (BPSG) |
| 6 |
Анализ содержания бора и фосфора в BPSG |
| 7 |
Определение концентрации водорода в SiO2 и Si3N4 |
| 8 |
Измерение толщины слоя смазки на поверхности жестких дисков |
| TurbomassGoldPlus |
1 |
Контроль чистоты растворителей |
| 2 |
Определение содержания органических веществ на поверхности кремниевых пластин |
| Pyris TC Probe |
1 |
Измерение теплопроводности полупроводниковых кристаллов, корпусов микросхем, печатных плат |
| 2 |
Контроль однородности покрытий |
Pyris Diamond DSC
Pyris DSC 6
Pyris 1 TGA
Pyris TGA 6
|
1 |
Определение состава полимерных материалов, используемых в производстве печатных плат, корпусов микросхем |
| 2 |
Анализ теплофизических свойств материалов. Определение температурных диапазонов работоспособности |
Pyris TMA 7
Pyris DMA 7 |
1 |
Измерение теплофизических свойств материалов. Анализ температурной совместимости подложек и покрытий по их КТР (Коэффициенту Термического Расширения) |